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用于制造半导体的设备和方法技术
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文档序号:8241949
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本发明公开了一种用于制造半导体的设备和方法,该设备包括:晶片盒,附着到所述设备的主体或从所述设备的主体分离;晶片载体,容纳在晶片盒中,且当半导体晶片放置在晶片载体上时,保留了关于所述多个半导体芯片的信息的条形码附着到晶片载体;缓冲单元,包括...
该专利属于三星泰科威株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星泰科威株式会社授权不得商用。
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