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用于直接接合半导体结构的改善的接合表面制造技术
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文档序号:8241942
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用于直接接合半导体结构的改善的接合表面。将第一半导体结构直接接合到第二半导体结构的方法包括以下步骤:在导电材料对导电材料直接接合工艺中将第一半导体结构的至少一个器件结构直接接合到第二半导体结构的至少一个器件结构。在一些实施方式中,在接合工艺...
该专利属于索泰克公司所有,仅供学习研究参考,未经过索泰克公司授权不得商用。
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