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本发明涉及一种用于对衬底圆片进行湿处理的装置，该装置具有多个池，各池分别具有用于引入工艺液体的至少一个第一入口和平坦的水平定向的上边缘。设置用于运输衬底圆片经过沿该运输单元的运输方向相继设置的至少两个池的运输单元，其中运输单元具有多个位于池...
该专利属于商先创光伏股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过商先创光伏股份有限公司授权不得商用。

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