下载一种基于蓝宝石基板的半导体设备的技术资料

文档序号:8241923

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本发明适用于半导体设备技术领域,提供了一种基于蓝宝石基板的半导体设备,所述基于蓝宝石基板的半导体设备设有一蓝宝石基板,所述蓝宝石基板的下表面通过电镀的方法形成一金属层,所述金属层对所述蓝宝石基板进行平面固定,所述蓝宝石基板的上表面通过外延生...
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