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本发明提供了一种高精度集成电路器件在片电容测试设备，包括倍频器、高频信号源、电桥自动平衡模块、混频器和电压矢量检测模块，倍频器将基频信号倍增至高频，高频信号源将测试信号输送至待测器件，输出的测试结果信号先经过电桥自动平衡模块输送至混频器以降...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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