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具有微米网格状多孔电极的电容式高分子湿度传感器及其制作方法，涉及一种电容式高分子湿度传感器及其制作方法。为了解决目前尺寸不增加的电容式高分子湿度传感器可靠性差的问题。所述传感器包括衬底、下电极、电介质层和上电极；上电极为微米网格状多孔电极，...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十九研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十九研究所授权不得商用。

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