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本发明涉及校准坐标测量机数学模型以补偿变形导致动态误差的方法。一种校准数学模型以补偿由测量机的动态变形导致的误差的方法，该测量机配备有能够在测量空间内移动触针探头的移动单元，其中该模型响应于与所述驱动装置(13)的控制信号相关的至少一个输入...
该专利属于海克斯康测量技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海克斯康测量技术有限公司授权不得商用。

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