下载炉体排风控制装置的技术资料

文档序号:8240642

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本发明涉及半导体工艺热处理领域,尤其是涉及一种炉体排风控制装置,包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元,所述的开关机构设置有开关主体,所述的气压驱动单元可驱动该开关主体,使该开关主体直线往复运动,从而执行对风口结构单元的开启和关闭动作。本...
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