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一种在确保可以方便地触碰基板保持器，和当基板正在镀敷设备中被处理时使基板保持器能够被方便地维护的镀敷设备。镀敷设备包括用于对基板镀敷的镀敷部、用于保持基板的基板保持器、用于保持和运送基板保持器的基板保持器运送器、用于存储基板保持器的贮藏部和...
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