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蒸镀方法与蒸镀设备技术
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文档序号:8239438
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本发明公开一种蒸镀方法与蒸镀设备。该蒸镀设备包括一腔体、至少一第一蒸镀源以及至少一第二蒸镀源。腔体具有一第一腔室、一第二腔室、一出口、一连通口、至少一第一入口与至少一第二入口。第一蒸镀源配置于第一入口,第二蒸镀源配置于第二入口。第一蒸镀源提...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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