下载蒸镀方法与蒸镀设备的技术资料

文档序号:8239438

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本发明公开一种蒸镀方法与蒸镀设备。该蒸镀设备包括一腔体、至少一第一蒸镀源以及至少一第二蒸镀源。腔体具有一第一腔室、一第二腔室、一出口、一连通口、至少一第一入口与至少一第二入口。第一蒸镀源配置于第一入口,第二蒸镀源配置于第二入口。第一蒸镀源提...
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