下载一种蓝宝石多线切割装置的技术资料

文档序号:8237711

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本发明涉及一种应用于LED光源蓝宝石材料、特种SIC半导体材料和新能源磁性材料等多领域多种硬脆材料的切片制作装置,通过加装随进给系统作整体上下移动的摆动装置,蓝宝石工件通过蓝宝石工件装夹座固定在摆动装置的动支架座上,相对定支架座作摆动运动,...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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