温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种基于能动光学技术的能动变形镜的光刻照明装置及照明方法，采用能动变形镜产生各种照明光瞳形状。能动变形镜的每个能动单元通过电压进行控制，可以利用优化算法、优化设计等来产生任意的照明光瞳形状，无需针对不同的掩模来设置机械转盘或离线设...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。