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本实用新型涉及一种物镜保护装置，包括：保护膜，所述保护膜的侧壁上设有凹槽；保护膜固定件，位于保护膜的外侧，所述保护膜固定件的侧壁上设有贯穿保护膜固定件的径向孔；固定滑块，所述固定滑块包括钉帽部和斜面部，所述钉帽部位于所述保护膜固定件外侧，所...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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