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本实用新型涉及一种硅片检测装置，用于检测硅片表面沾污，其包括用以传送硅片的传送带、位于传送带上方的光源模组、以及位于光源模组上方的影像传感器，光源模组的截面呈“n”形，其两侧边缘底部各设有LED灯，光源模组的顶部开设一狭缝，影像传感器位于穿...
该专利属于库特勒自动化系统（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过库特勒自动化系统（苏州）有限公司授权不得商用。

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