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本实用新型涉及一种硅片检测装置，其包括支撑传送硅片的传送带、向硅片发射入射光的激光器、用于接收入射光于硅片上漫反射形成的反射光的影像传感器，激光器位于传送带上方并使激光器发出的入射光线与影像传感器接收的反射光线所构成的平面与硅片传送方向垂直...
该专利属于库特勒自动化系统（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过库特勒自动化系统（苏州）有限公司授权不得商用。

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