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本实用新型公开一种水平式碳化硅高温氧化装置，其包括：水平设置的双层石英管嵌套结构，其包括：一水平放置的外层石英管及内嵌于外层石英管中的内层石英管，该内、外层石英管之间形成一水平方向的环形空腔，该双层石英管嵌套结构两端分别通过一密封结构固定装...
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