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一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置制造方法及图纸
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下载一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置的技术资料
文档序号:8227663
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本实用新型公开了一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置。通过使用挡料球作为多晶硅的隔离装置,使用导料管作为注入多晶硅的通过闸板阀或翻板阀的导料装置,使用闸板阀或翻板阀作为隔离直拉硅单晶炉真空的装置,这些装置的尺度远大于块状多晶硅的粒度,使...
该专利属于曾泽斌所有,仅供学习研究参考,未经过曾泽斌授权不得商用。
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