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一种运用阿基米德螺线分布孔位置的气体分配器，包括：进气顶盘法兰(1)和阿基米德螺线水冷匀气孔(2)；其特征在于：所述进气顶盘法兰(1)为金属圆盘结构，所述金属圆盘中间具有圆形凹坑，沿凹坑径向设有板条，所述板条将进气顶盘法兰(1)分为2n个扇...
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