下载一种多晶硅还原炉的技术资料

文档序号:8227169

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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉,属于多晶硅生产技术领域。所述多晶硅还原炉的炉盘上,设置有导流隔热罩为进入还原炉的物料提供导流的空间,使物料能够强制上升到炉筒内的顶部。本实用新型的一种多晶硅还原炉,能够在反应中为多晶硅棒上下部都提供充足的物...
该专利属于四川瑞能硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川瑞能硅材料有限公司授权不得商用。

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