下载一种脉冲激光刻蚀卷对卷柔性导电膜的装置的技术资料

文档序号:8223872

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本实用新型涉及一种脉冲激光刻蚀卷对卷柔性导电膜的装置,所述激光器(1)发出的激光依次经光闸(2)、1/2波片(3)和格兰棱镜(4)后射入扩束镜(5)对光束进行同轴扩束,经扩束镜(5)扩束准直后的激光到达全反镜片(6),经全反镜片(6)反射后...
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