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本实用新型涉及一种硅片清洗洗片装置，包括用于清洗硅片的超声槽，所述的超声槽的槽体内侧两边分别安装两根水管，两根水管的下方安装有超声发生器，槽体中心放置带粘晶板的硅片。本实用新型结构简单，使用方便，能使带粘晶板的硅片表面都被超声清洗到，同时硅...
该专利属于常州顺风光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州顺风光电材料有限公司授权不得商用。

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