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本发明公开了一种对椭偏测量系统中椭圆偏振仪的偏振角度、光入射角度的校准方法，属于光学测量仪器技术领域。该方法根据傅里叶系数，参考样品光学常数，椭圆偏振仪的工作参数的关系式，通过最小二乘法进行拟合，得到椭圆偏振仪的工作参数的校正值。该方法能够...该专利属于中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司授权不得商用。