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本发明提供一种硫化铟薄膜的制备方法，包括：提供一含有络合剂、铟离子、以及氢硫根离子的混合溶液；以及将混合溶液与一基板接触，以于基板上形成一硫化铟薄膜；其中络合剂具有下列化学式：其中，R1及R2各自独立地为氢或羟基。...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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