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本发明提供了一种能够执行薄膜沉积工艺并提高所形成的薄膜的特性的气相沉积装置、一种气相沉积方法和一种制造有机发光显示装置的方法，所述气相沉积装置包括：室，具有排放开口；架台，设置在所述室内，并包括安装表面，所述基底可以安装在所述安装表面上；注...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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