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本发明公开了一种芯片上的球形光学微腔，所述球形光学微腔由锥形硅支撑。与现有技术相比，本发明的芯片上的球形光学微腔尺寸可控、易于集成和保存。本发明还公开了芯片上的球形光学微腔的制备方法，制备方法简单，制得的芯片上的球形光学微腔尺寸可控、品质因...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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