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本发明公开了一种修整化学机械研磨垫的双重修整系统及相关方法，在本发明的一种具体实施方式中，该修整化学机械研磨垫的方法包括：将一去釉化修整器(deglazing?dresser)作用于一化学机械研磨垫的一工作表面，以利用该去釉化修整器能够对该...
该专利属于宋健民所有，仅供学习研究参考，未经过宋健民授权不得商用。

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