下载一种大口径光学元件激光预处理的方法及装置的技术资料

文档序号:8208595

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本发明公开了一种大口径光学元件激光预处理的方法及装置,首先将激光光束照射到被处理样品表面上的处理点1进行辐照预处理,由处理点1反射出来的激光光束经激光能量回收反射镜后再次照射到被处理样品表面上的处理点2;如此类推,激光光束经激光能量回收反射...
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