下载一种用于去除硅片表面硅酸钠残留的喷淋装置的技术资料

文档序号:8208182

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本发明公开了一种去用于除硅片表面硅酸钠残留的喷淋装置,包括机械臂,喷淋支架,喷淋口,花篮,制绒槽,所述的机械臂与喷淋支架固定连接,所述的喷淋支架上设有喷淋口,所述的花篮设于喷淋支架的下方与喷淋口相对应,所述的花篮与机械臂通过挂钩连接,所述的...
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