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本发明公开了一种化学气相沉积系统及方法,该系统包括第一进气口、第二进气口、第一管路分支部及第二管路分支部,第一进气口及第二进气口位于一供气装置上,第一管路分支部提供一气体至第一进气口及/或第二进气口,第一管路分支部所提供的气体以一第一流量流...该专利属于绿种子材料科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过绿种子材料科技股份有限公司授权不得商用。
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