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本实用新型公开了一种应用于步进光刻设备中的阻尼系统，包括光学元件、内部支架、第一阻尼环和第二阻尼环；光学元件固定在内部支架上；内部支架设置于第一阻尼环上，第一阻尼环设置于第二阻尼环上；第二阻尼环的顶部设有环形凸起，第一阻尼环的底部设有容纳环...
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