下载一种用于拉制4寸区熔单晶硅加热线圈的技术资料

文档序号:8199576

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本实用新型涉及一种用于拉制4寸区熔单晶硅加热线圈,包括线圈盘体,位于线圈盘体的线圈中心外围设置线圈台阶,同时,所述线圈盘体外围环绕设置环形线圈水路,此线圈盘体外径设置为70mm-190mm。本实用新型有益效果为:产品单匝加热线圈内径小,可形...
该专利属于刘剑所有,仅供学习研究参考,未经过刘剑授权不得商用。

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