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本实用新型涉及一种硅基结构的制备机构，激光器、聚焦透镜、图形掩膜、工作箱、工作台、集液槽和化学溶液循环过滤系统；所述工作箱置于所述工作台上，所述激光器置于工作箱上端，该工作箱的上端设有让激光穿过的窗口，集液槽置于工作台上且位于工作箱内，所述...
该专利属于南通大学所有，仅供学习研究参考，未经过南通大学授权不得商用。

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