硅基结构的制备机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅基结构的制备机构，激光器、聚焦透镜、图形掩膜、工作箱、工作台、集液槽和化学溶液循环过滤系统；所述工作箱置于所述工作台上，所述激光器置于工作箱上端，该工作箱的上端设有让激光穿过的窗口，集液槽置于工作台上且位于工作箱内，所述硅片置于集液槽上方，图形掩膜粘接于硅片的上端面并置于所述空腔中；所述进液腔与工作箱连通，所述化学溶液循环过滤系统通过对应管道与工作箱中的进液腔和集液槽连通；光学防护镜固定在窗口的一侧，聚焦透镜和激光器由近及远依次置于光学防护镜的一侧。本实用新型专利技术优点是，可制备具有高宽比大、垂直度及表面质量好的硅基微三维结构。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硅基结构的制备机构，所述装置中设有硅片（15），其特征在于，所述装置包括激光器（1）、聚焦透镜（2）、图形掩膜（14）、工作箱（5）、工作台（16）、集液槽（18）和化学溶液循环过滤系统；所述工作箱（5）置于所述工作台（16）上，所述激光器（1）置于工作箱（5）上端，该工作箱（5）的上端设有让激光穿过的窗口，集液槽（18）置于工作台（16）上且位于工作箱（5）内，所述硅片（15）置于集液槽（18）上方，图形掩膜（14）粘接于硅片（15）的上端面；所述进液腔（19）与工作箱（5）连通，所述化学溶液循环过滤系统通过对应管道与工作箱（5）中的进液腔（19）和集液槽（18）连通；光学防护镜（3）固定在窗口（21）的一侧，聚焦透镜（2）和激光器（1）由近及远依次置于光学防护镜（3）的一侧。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张华，倪红军，黄明宇，
申请(专利权)人：南通大学，
类型：实用新型
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