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利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置制造方法及图纸
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下载利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置的技术资料
文档序号:8199297
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本实用新型公开了一种利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置,包括真空腔体,在真空腔体的侧面设有激光窗口,在激光窗口上设有腔入射镜,在激光窗口外设有PLE激光透镜,在真空腔体内设有样品台,样品台与PLE激光透镜的光路对应,在样品台的后端连接有取样...
该专利属于贵州大学所有,仅供学习研究参考,未经过贵州大学授权不得商用。
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