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激光加工LED衬底的系统技术方案
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文档序号:8197335
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本实用新型提供了一种激光加工LED衬底的系统,该系统包括:飞秒脉冲种子激光源;激光放大扩束装置,对所述飞秒脉冲种子激光源发出的飞秒脉冲激光进行能量放大、扩束和线聚焦,输出线状光斑,所述线状光斑的长度大于等于LED衬底的直径;承载部件,用于承...
该专利属于杭州士兰明芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州士兰明芯科技有限公司授权不得商用。
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