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一种辅助磁控溅射镀膜工艺的玻璃表面清洗室装置，设置在磁控溅射镀膜腔室输入端的玻璃基板传送带的上方，关键在于：清洗室的结构中包括在室壁上固定的等离子体加热源、及等离子体加热源的开关控制管理电路，清洗室的输出端与磁控溅射镀膜腔室输入端相接。本实...该专利属于东旭集团有限公司;成都泰轶斯太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东旭集团有限公司;成都泰轶斯太阳能科技有限公司授权不得商用。