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一种制品，包括衬底和沉积在所述衬底上的均质金属氟氧化物中间膜层，所述中间膜包含稀土金属、碱土金属和过渡金属。所述中间膜具有小于20％的缺陷密度，并且在热处理后能够转化成化学计量厚度大于1μm且至多5μm的稀土金属-碱土金属-过渡金属-氧化物...
该专利属于美国超导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过美国超导体公司授权不得商用。

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