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利用将钛层、氮化钼层、铝层和氮化钼层按该顺序叠层而成的叠层体构成源极电极和漏极电极，由干蚀刻形成钛层，氧化物半导体层是在形成源极电极和漏极电极之后在含氧的气氛中进行退火处理而形成。...
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