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功率用半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:8194179
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在高速切换的功率用半导体装置中,存在在切换时流过位移电流从而与其流路的电阻互相作用,而发生高电压,由于该电压,栅极绝缘膜那样的薄的绝缘膜发生绝缘破坏,而半导体装置发生破坏的情况。本发明涉及的半导体装置具备:第1导电类型的半导体基板;第1导电...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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