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碳化硅衬底制造技术
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文档序号:8193779
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第一单晶衬底(11)具有第一侧表面且由碳化硅构成。第二单晶衬底(12)具有与第一侧表面相对的第二侧表面且由碳化硅构成。接合部(BD),在第一和第二侧表面之间,使第一和第二侧表面彼此连接且由碳化硅构成。接合部的至少一部分具有多晶结构。因此,可...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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