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本发明涉及一种二硼化钛靶子，所述靶子包括一种或多种金属的片断，所述金属选自由以下物质组成的群组：铁、镍、钴以及铬；并且所述靶子还包括碳。根据本发明，TiB2粒子的平均粒度介于1μm到20μm之间，碳含量介于重量比为0.1％到5％的范围内，并...
该专利属于攀时欧洲公司所有，仅供学习研究参考，未经过攀时欧洲公司授权不得商用。

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