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本发明描述了支化和官能化的硅氧烷和制备这样的化合物的方法。所述化合物具有多种用途。一个优选的应用是作为用于光刻法的新型平坦化材料，在该情形中官能化支化硅氧烷，例如环氧改性的支化硅氧烷特别有用。...
该专利属于得克萨斯大学体系董事会所有，仅供学习研究参考，未经过得克萨斯大学体系董事会授权不得商用。

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