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本发明提供一种由多个加工台并行地对圆片进行倒角加工,使生产能力提高,并且抑制砂轮的总数,减小装置总体的成本、尺寸,维持管理也容易的圆片的倒角装置。具备:载置圆片(1)的多个加工台(2A~D);具有与用于对上述圆片(1)的周缘部进行倒角的多个...该专利属于日商·大都电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日商·大都电子股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种由多个加工台并行地对圆片进行倒角加工,使生产能力提高,并且抑制砂轮的总数,减小装置总体的成本、尺寸,维持管理也容易的圆片的倒角装置。具备:载置圆片(1)的多个加工台(2A~D);具有与用于对上述圆片(1)的周缘部进行倒角的多个...