下载有机层沉积设备的技术资料

文档序号:8191881

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本发明公开了一种可以在沉积工艺期间与基板精确地对准的有机层沉积设备。所述有机层沉积设备包括:沉积源;沉积源喷嘴单元;图案化缝隙片,与基板分隔开且比基板小,并且具有沿着垂直于第一方向的第二方向布置的多个图案化缝隙。在基板相对于有机层沉积设备沿...
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