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利用种子层电化学制备热电薄膜的方法技术
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文档序号:8191868
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本发明属于电化学制备热电材料领域,涉及利用种子层电化学制备热电薄膜的方法。具体为先利用分子束外延、磁控溅射等方式在衬底上制备具有纳米量级厚度的种子层,然后用电化学方法生长热电薄膜材料,膜厚可达微米级别。通过这种方法可以控制外延薄膜的生长取向...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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