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图形化半导体基材表面的方法技术
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文档序号:8191846
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本发明涉及一种图形化半导体基材表面的方法。在此图形化半导体基材表面的方法中,首先提供高分子膜(Polymer?Film),其中高分子膜具有多个第一贯穿孔。然后,形成保护层于高分子膜的表面上以及第一贯穿孔的多个侧壁上,以形成屏蔽,其中第一贯穿...
该专利属于茂迪股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过茂迪股份有限公司授权不得商用。
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