下载图形化半导体基材表面的方法的技术资料

文档序号:8191846

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本发明涉及一种图形化半导体基材表面的方法。在此图形化半导体基材表面的方法中,首先提供高分子膜(Polymer?Film),其中高分子膜具有多个第一贯穿孔。然后,形成保护层于高分子膜的表面上以及第一贯穿孔的多个侧壁上,以形成屏蔽,其中第一贯穿...
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