下载薄膜晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:8191817

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本发明是有关非晶形氧化物和采用该氧化物的薄膜晶体管。具体来说,提供电子载流子浓度未满1018/cm3的非晶形氧化物和采用该氧化物的薄膜晶体管。于具有源极电极6、汲极电极5、栅极电极4、栅极绝缘膜3和沟道层2的薄膜晶体管上,采用电子载流子浓度...
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