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具有掩埋位线的半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:8191790
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本发明实施例公开了具有掩埋位线的半导体器件及其制造方法。所述半导体器件包括:有源本体,所述有源本体具有在横向上彼此面对的两个侧壁;结,所述结形成在所述两个侧壁中的一个侧壁中;电介质层,所述电介质层具有暴露出所述结的开放部分并且覆盖所述有源本...
该专利属于海力士半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海力士半导体有限公司授权不得商用。
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