下载用于大量晶片型工件的缓冲存储的装置和方法的技术资料

文档序号:8191729

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本发明涉及用于缓冲储存大量晶片型工件17的装置,包含框架1,至少两个输送元件3,其每个以垂直方向围绕连接在框架上的上部和下部偏向装置5循环,并且以均匀的间隔在其上提供多个承载区域4用于工件17的水平安装,其中驱动每个输送元件3的至少一个偏向...
该专利属于硅电子股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过硅电子股份公司授权不得商用。

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