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本发明揭示了一种晶圆位置检测装置及检测方法，该装置包括：载置台、驱动装置、吹气装置、摄像装置及图像处理装置。其中，载置台用于载置晶圆；驱动装置与载置台相连，用于驱动载置台旋转；吹气装置设置在载置台的上方并向载置台上的晶圆的外周边缘部吹气，使...
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